破口,研究出目前世界上最先進的5nm光刻技術。
“咱們國家目前的情況是——”
會議室裡,專案總工程師鍾宏正跟大家詳細介紹國內目前的光刻機技術。
“28nm已經研發成功,今年量產。不過實驗室現在已經有22nm光刻技術的研究成果,但能不能投入使用,還要經過一段時間的試驗。”
坐在投影幕布對面、會議長桌主位上的蔣凡晞在資料冊上寫下備註:“28nm可量產,22nm待定。”
鍾宏繼續發言:“目前,能做5nm光刻機的只有荷蘭那家,它的技術是EUV極紫外線,用的是13.5nm波長的光源,這是突破10nm晶片製程節點必不可少的工具。”
有人附議:“他們EUV極紫外線的光源也是找美國進口。”
蔣凡晞點點頭,在資料冊上簡單備註後,總結道:“意思就是——即使我們有EUV技術,但也不一定能進口到最佳光源。要徹底解決這個問題,只能是完全摒棄EUV技術,另闢蹊徑,尋找其他替代性的技術。”
“是這樣沒錯。其實70年代咱們就已經有製造光刻機的經驗了,經驗是很充足的,但低奈米技術的光刻機為何遲遲做不出來?就是卡在這裡!什麼時候突破這個節點,咱們就不必再被人卡著脖子了。”
鍾宏笑說:“與其說咱們在研發5nm光刻機,倒不如說研發替代EUV的新型光源技術。說研發光刻機聽上去太難太累,那麼大一臺機子,壓在心口上喘不過氣啊是不是?咱們說研發一個什麼技術,那聽上去就輕鬆多了,是吧?所以大家放鬆點,咱們可以的!”
大夥都笑了,會議室裡響動著年輕的笑聲,原本嚴肅的氣氛輕鬆了不少。
蔣凡晞也笑了。
確實聽鍾宏這麼一番講解,心情好像沒那麼壓抑了。
她自己做研發工作的,最能理解研發成果有時候也受情緒的影響。
鍾宏在投影幕布前講解著目前幾大可能替代EUV的光源技術,然後將與會所有人員分成三個小組,每一組負責研發一種替代技術,什麼時候研發出來,什麼時候結束。
蔣凡晞沒有參與分組,因為她打算到時候每一組都去看看情況。
……
實驗室每一天都在燒錢,做研發工作需要大量資金的支援,蔣凡晞和任泫寒決定各自減持手頭上20%的FX的股份,套出四億現金用以支援光刻機的研發。